表面清潔度分析儀的參數可以根據不同的型號和廠家有所差異，一般包括以下幾個方面：

測量范圍：即可以測量的表面清潔度范圍，通常以Sa或Ra等指標來表示。

測量精度：測量結果的準確性和可靠性，通常以測量誤差或重復性誤差來表示。

分辨率：即測量儀器的最小可測量單位，通常以nm或μm為單位。

測量速度：測量儀器的數據采集速度和處理速度，通常以mm/s或mm2/s為單位。

接口和通信方式：測量儀器與計算機或其他設備之間的連接方式和通信協(xié)議，通常包括USB、RS232、Ethernet等。

其他功能和特性：如自動識別和選擇測量參數、數據存儲和導出、報警功能等。